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新型温室气体—三氟化氮(NF3)废气减排技术研究进展
作者:王丽梅、徐秀峰     日期:2022-05-02     来源:化学化工学院     阅读:

NF3是电子工业使用的一种新型蚀刻气体,使用量和废气排放量逐年上升。其温室效应潜值高达17200,存留时间约740年。为了引起世界各国对NF3危害性的认识,2008年联合国环境大会将NF3增列为限制排放的温室气体。因此,有效消除工业过程排放的NF3废气是一件有意义的工作。无水条件下NF3与一些金属氧化物反应而分解,生成的金属氟化物是有用的化学品,且不产生腐蚀性气体HF,操作简单,是分解NF3废气的经济实用方法。

在前期工作(Journal of Environmental Chemical Engineering, 2019, 7, 103192;2020, 8, 103890;2020, 8, 104166)基础上,近日徐秀峰教授团队合成了薄片形貌Al2O3@Mn2O3复合固氟剂,用于分解NF3,显著加快了NF3气体的扩散与反应,提高了固氟剂活性和利用率。研究结果以“Destructive sorptionofNF3as a novel greenhouse gasoverAl2O3@Mn2O3sorbentswith high surface area”为题,发表在Process Safety and Environmental Protection。有关工作为制备高活性高利用率NF3分解固氟剂提供了有益的启示。

该工作第一作者为化学化工学院2020级硕士研究生王丽梅,通讯作者为徐秀峰教授。上述工作得到了山东省自然科学基金(重点项目)、烟台市科技创新发展计划(科技领军人才项目)的资助。(文、图/王丽梅、徐秀峰)

文章链接:https://doi.org/10.1016/j.psep.2022.04.069

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